Описание
Двухзонная трубчатая печь химического осаждения из газовой фазы (CVD-печь) имеет модульную компоновку, включающую собственно трубчатую печь и систему подачи газа с расходомером, а в качестве опции оснащается системой вакуумирования и генератором высокочастотной плазмы.
Особенности и преимущества
- Макс. температура нагрева (кратковременно): 1200 °С.
- Компактная конструкция и сравнительно небольшой вес.
- Пониженная температура нагрева в сравнении с традиционными системами аналогичного назначения.
- Натяжение пленки может регулироваться с использованием методов высоко- и низкочастотного перемешивания.
- Удобство размещения и извлечения образцов из рабочей зоны.
- Стандартный комплектацию поставки включает вакуумные уплотнительные фланцы из коррозионностойкой стали.
- Микропроцессорная система управления с ПИД-регулированием (с автоматической настройкой) с малым перерегулированием.
- Возможность проведения процессов в различных атмосферах за один рабочий цикл (к примеру, выжигание связующего в воздушной среде и спекание материалов в условиях разрежения или в атмосфере защитного газа).
- Встроенные амперметр и вольтметр (2 шт.) для удобства контроля и диагностики.
- Долговечная термопара типа K.
- Высокая скорость охлаждения.
Технические параметры
| Параметр | Значение |
| Макс. температура нагрева (кратковременно) | 1200 °С |
| Макс. температура нагрева (длительно) | 1100 °С |
| Электропитание | АС 208…240 В, 50 Гц, 1 ф. |
| Материал изготовления трубки | Кварцевое стекло |
| Тип и производитель нагрев. элемента | Резистивный провод Kanthal |
| Термопара | Тип К |
| Жаропрочная футеровка | Алюмооксидная керамика марки 1500, Mitsubishi® (Япония) |
| Температурный контроллер | Shimaden FP93 (Япония). 4 программы, 40 сегментов (4х10 или 2х20 сегментов) |
| Макс. скорость повышения и понижения температуры, °С/мин | 30 |
| Точность поддержания температуры, °С | ±1 |
| Вакуумное уплотнение | Уплотнит. фланцы из нерж. стали с вакуумметром (1 шт.), клапанами (2 шт.) и термостойкими керамическими блоками (4 шт.). |
| Возможность работы со взрывоопасными, включая водород, угарный газ и метан | Нет |
| Защита | От перегрева в случае превышения допустимой температуры и выхода из строя термопары. От сбоя электропитания: устройство автоматически продолжает выполнение программы после восстановления электропитания. |
Комплект поставки
| Наименование | Количество |
| Стандартная комплектация | |
| Трубчатая печь | 1 компл. |
| Многоканальная система подачи газа | 1 компл. |
| Трубка из кварцевого стекла | 1 шт. |
| Аналоговый расходомер | 1 шт. |
| Вакуумные уплотнит. фланцы из нерж. стали в комплекте с вакуумметром | 1 компл. |
| Крюк из нерж. стали | 1 шт. |
| Термоблок из алюмооксидной керамики | 2 пары |
| Термостойкие перчатки | 1 пара |
| Высокотемпературный тигель из алюмооксидной керамики | 5 шт. |
| Интерфейс для подключения к компьютеру USB/RS485 | 1 компл. |
| Опции | |
| Генератор высокочастотной плазмы | 1 компл. |
| Система вакуумирования с вакуумным насосом | 1 компл. |