Описание
Печь химического осаждения из газовой фазы (CVD-печь) состоит из трехзонной трубчатой печи, высокоточной системы контроля массового расхода газа, системы глубокого вакууммирования и других элементов. Максимальная рабочая температура печи составляет 1200 °C, а предельный уровень разрежения — 10⁻⁵ торр (с оригинальным уплотнением).
Система контроля массового расхода газа смешивает несколько различных газов и вводит смесь в трубку из кварцевого стекла, расположенную внутри печи. Печь данного типа предназначена для проведения экспериментов по химическому осаждению из газовой фазы, диффузии и других видов термообработки в условиях вакуума и в среде защитного газа. Устройство поставляется с 4-канальной системой управления массовым расходом газа, оснащенной панелью управления с цифровым светодиодным дисплеем.
Особенности и преимущества
- Максимальная рабочая температура: 1200 °С.
- Возможность работы в вакууме и в среде защитных газов.
- Трехзонная система нагрева.
- Возможность работы в системах химического осаждения из газовой фазы.
- 4-канальная система управления массовым расходом газа.
- Встроенная система вакуумирования, обеспечивающая достижение глубокого вакуума.
Основные элементы
Структура рабочей камеры
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
| Печь | |
| Максимальная температура нагрева (кратковременно), °С | 1200 |
| Максимальная температура нагрева (длительно), °С | 1100 |
| Электропитание | 220 В АС, 50/60 Гц, 1 ф. |
| Потребляемая мощность, кВт | 7,0 |
| Конструкция корпуса | Двухслойный стальной корпус с воздушным охлаждением. |
| Система охлаждения | Встроенный термостат для автоматического управления охлаждением при температуре корпуса > 55°C. |
| Материал трубки | Кварцевое стекло |
| Материал нагревательного элемента | Сплав железа, хрома и алюминия (Fe-Cr-Al), легированный молибденом (Mo) |
| Скорость нагрева, °С/мин | 1…20 (регулируемая) |
| Длина зоны нагрева, мм | 900 (3 зоны 300+300+300 мм) |
| Контроллер температуры | Три высокоточных контроллера температуры для независимого управления тремя зонами нагрева |
| Тип управления | ПИД-регулирование, до 30 программируемых сегментов |
| Точность поддержания температуры, °С | ±1 |
| Тип термопары | К |
| Вакуумное уплотнение | Одна пара вакуумных фланцев из нержавеющей стали, включая:
циферблатный манометр (1 шт.); |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | 1100х450х670 |
| Система вакуумирования | |
| Размеры тележки для перемещения (ДхШхВ), мм | 600х600х700 |
| Грузоподъемность тележки для перемещения, кг | 270 |
| Панель управления молекулярным вакуумным насосом | С ЖК-дисплеем |
| Вакуумный насос | Pfeiffer (Германия) с датчиком разрежения |
| Объемный расход газов, л/с | Азот: 33; Гелий: 39; Водород: 32 |
| Диапазон рабочего давления, мбар | 1000 … 10⁻⁷ |
| Предельный уровень разрежения, мбар | 10⁻⁸ |
| Система контроля массового расхода газов | |
| Диапазон регулирования контроллеров по каналам | 1: 0…100 см³/мин; 2: 1…199 см³/мин; 3: 01…199см³/мин; 4: 1…499 см³/мин. |
| Размеры канала подачи газа в баке (ØхД) | 80х120 |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | 600х745х700 |
| Потребляемая мощность, Вт | 18 |