Описание
Трубчатая печь данной модели имеет горизонтальную компоновку и три зоны нагрева, что обеспечивает максимальную универсальность в применении. Данная печь подходит для проведения как химического осаждения из газовой фазы (CVD), так и плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD). Технология плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD) отличается высокой скоростью осаждения, хорошей однородностью, целостностью и стабильностью по сравнению с традиционной технологией CVD.
Печь данной модели широко используется для формирования различных пленок, таких как SiOx, SiNx, SiOxNy, аморфный кремний и т.д.
Особенности и преимущества
- Три независимые зоны нагрева.
- Универсальность в применении.
- Контроль натяжения пленки с использованием методов высоко- и низкочастотного смешивания.
- Высокое качество пленки (однородность, целостность и стабильность).
- Современный контроллер с возможностью сохранения до 30 рабочих программ.
- Предельный уровень разрежения: 10ˉ³ Па.
- Высокая энергоэффективность.
- Детали рабочей зоны изготавливаются из высококачественной нержавеющей стали, исключающей образование окалины при нагреве.
- Равномерный нагрев рабочей зоны.
- Возможность подключения к компьютеру, собственное программное обеспечение.
- Нагревательный элемент из высококачественной поликристаллической алюмооксидной керамики.
- Система ограничения рабочего тока с плавным пуском, позволяющая продлить срок службы нагревательного элемента.
- Автоматическое отключение в случае превышения допустимого тока.
- Высококачественный трансформатор с обмоткой из высокочистой меди, сертифицированный по стандарту UL. Отличается минимальным нагревом и низким уровнем шума.
- Возможность оснащения фланцами диаметром от 25 до 250 мм (опция).
 |
 |
| Рабочая зона | Трансформатор |
Технические параметры
| Параметр | Значение |
| Трубчатая печь | |
| Потребляемая мощность | 6,0 кВт |
| Размеры трубки (Внешний диаметр х Длина) | 60х2700 мм |
| Электропитание | АС 220 В, 50 Гц, 1 ф. |
| Тип и производитель нагревательного элемента | Резистивный провод Kanthal А1 |
| Макс. количество сохраняемых программ | 30 |
| Интерфейс связи | RS485 |
| Тип регулирования | ПИД-регулирование |
| Защита | Защита от перегрева. Защита при выходе из строя термопары. Защита от перегрузки по току. |
| Точность поддержания температуры в рабочей зоне, °С | ±1 |
| Триггер | Триггер фазового сдвига |
| Тип и производитель кремниевого управл. выпрямителя | 106/16e, West Gate (Германия) |
| Макс. температура нагрева (кратковременно) | 1200 °С |
| Макс. температура нагрева (длительно) | 1100 °С |
| Макс. скорость повышения и понижения температуры, °С/мин | 10 |
| Термопара | Тип К |
| Длина области нагревания (для каждой зоны) | 200 мм |
| Макс. температура окружающей среды | +45 °С |
| Генератор высокочастотной плазмы | |
| Электропитание | АС 208…240 В, 50 Гц, 1 ф. |
| Мощность на выходе | 0…500 Вт (регулируемая) |
| Точность регулировки мощности на выходе | ±0,1% |
| Частота генерируемой плазмы | 13,56 МГц |
| Стабильность поддержания частоты генерируемой плазмы | ±0,005% |
| Макс. мощность отражения | 200 Вт |
| Выход высокочастотной плазмы | 50 Ом, тип N, гнездовой |
| Способ охлаждения | Воздушное охлаждение |
| Гармонич. составляющая | -50 дБн (dBc) или менее |
| Ширина зоны генерации | 0…600 мм (регулируемая) |
| Макс. уровень шума | 50 дБ |
| Система подачи газа | |
| Встроенный расходомер | Есть |
| Макс. определяемый расход расходомера (выбирается в зависимости от газа) | 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 см³/мин, 1, 2, 3, 5, 10 л/мин |
| Макс. рабочее давление | 3,0 МПа |
| Точность определения расхода | ±1,5% |
| Повторяемость измерений | ±0,2% от диапазона |
| Количество каналов | 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (выбирается при заказе) |
| Материал и размер соединений | Нержавеющая сталь, 1/4” |
| Диапазон раб. давления в системе | 0,1…0,5 МПа |
| Температура окружающего воздуха | +5…+45 °С |
| Размеры смесительной емкости (Ø х Длина) | 50х400 |
| Габаритные размеры | 600х600х600 мм |
| Тип и длина гофрированной трубки | KF25, 1000 мм |
| Предельный уровень разрежения в системе | 10ˉ¹ Па |
| Соединение вакуумного клапана | KF25 |
| Вакуумный насос VRD-8 | |
| Модель | VRD-8 |
| Предельный уровень разрежения | 5х10ˉ² Па |
| Соединение трубопровода | KF25 |
| Частота вращения электродвигателя | 1440 об/мин |
| Мощность электродвигателя | 400 Вт |
| Быстрота действия | 2,2 л/с |
| Вакуумный насос Рутса ACP15 | |
| Модель | ACP15 |
| Электропитание | 100…240 В АС, 50/60 Гц, 1 ф. |
| Мощность электродвигателя | 450 Вт |
| Соединение трубопровода | KF25 |
| Масса нетто | 25 кг |
| Макс. скорость утечки гелия | 5х10ˉ⁸ Па∙м³/с |
| Предельный уровень разрежения | 0,02 торр |
| Быстрота действия | 14 м³/ч |
| Цифровой вакуумметр ZDR-1 | |
| Потребляемая мощность | 25 Вт |
| Диапазон измерений | 0,1…10⁵ Па |
| Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG554 (опция) | |
| Напряжение питания | 24 В DC (адаптер для сети 220 В АС в комплекте) |
| Соединение выходного патрубка | KF16 |
| Дисплей | Цифровой дисплей 20х14 мм, ед. изм.: торр |
| Габаритные размеры (ДхШхВ) | 46х28х126 мм |
| Масса нетто | 2,27 кг |
| Коррозионностойкое исполнение | Да |
| Макс. время отклика | 30 мс |
| Диапазон измерения | 3,8х10ˉ⁵…1125 торр |
| Молекулярный вакуумный насос (опция) | |
| Напряжение питания | 380/220 В АС |
| Тип и длина гофрированной трубки | KF40, 1000 мм |
| Соединение вакуумного клапана | KF40 |
| Габаритные размеры | 600х600х600 мм |
| Молекулярный вакуумный насос FJ620 (опция) | |
| Модель | FJ620 |
| Напряжение питания | 380 В АС |
| Соединение трубопровода | Ду 160 мм |
| Быстрота действия (для воздуха) | 600 л/с |
| Предельный уровень разрежения | 6х10ˉ⁷ Па |
| Способ охлаждения | Водяное |
| Требуемое давление воды для охлаждения | 0,1…0,2 МПа |
| Требуемая температура воды для охлаждения | Не более 25°С |
| Допустимая температура окружающего воздуха | 0…+40 °С |
| Рекомендуемое давление при пуске | Не более 100 Па |
| Вакуумный насос RVP-6 | |
| Потребляемая мощность | 750 Вт |
| Напряжение питания | 380 В АС |
| Частота вращения электродвигателя | 1450 об/мин |
| Соединение трубопровода | KF25 / KF40 |
| Быстрота действия | 6 л/с |
| Макс. уровень разрежения | 4х10ˉ² Па |
| Вакуумный насос Pfeiffer | |
| Напряжение сети электропитания | 220 В АС |
| Потребляемая мощность | 110 Вт |
| Соединение трубопровода | KF40 |
| Масса нетто | 150 кг |
| Быстрота действия | 0,9м³/ч |
| Мановакуумметр ZDF | |
| Модель | ZDF |
| Напряжение сети электропитания | 220 В АС |
| Потребляемая мощность | 55 Вт |
| Точность | ±1% |
| Диапазон | 10ˉ⁵…10⁵ Па |