Описание
Трубчатая печь данной модели имеет вертикальную компоновку, обеспечивающее удобство эксплуатации для ряда применений. Благодаря современному контроллеру точность поддержания температуры составляет ±1 °С при максимальной энергоэффективности и наибольшей температуре нагрева 1200 °С в кратковременном режиме и 1100 °С в длительном режиме.
Данная печь подходит для проведения как химического осаждения из газовой фазы (CVD), так и плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD).
Особенности и преимущества
- Макс. температура нагрева: 1200 °С (кратковременно), 1100 °С (длительно).
- Компактная вертикальная компоновка.
- Двойная изоляция корпуса, исключающая риск получения ожогов при прикосновении к внешним частям во время работы и обеспечивающая повышенную энергоэффективность.
- Контроль натяжения пленки с использованием методов высоко- и низкочастотного смешивания.
- Микропроцессорная система управления с ПИД-регулированием (с автоматической настройкой) с малым перерегулированием.
- Надежная термопара типа K.
- Высокая скорость охлаждения.
- Защита от превышения допустимой температуры и выхода из строя термопары, продолжение выполнения программы после восстановления электропитания в случае сбоя.
Технические параметры
| Параметр | Значение |
| Печь | |
| Макс. температура нагрева (кратковременно) | 1200 °С |
| Макс. температура нагрева (длительно) | 1100 °С |
| Электропитание | АС 208…240 В, 50 Гц, 1 ф. |
| Потребляемая мощность | 3500 Вт |
| Материал изготовления трубки | Кварцевое стекло |
| Тип и производитель нагрев. элемента | Резистивный провод Kanthal |
| Термопара | Тип К |
| Жаропрочная футеровка | Алюмооксидная керамика марки 1500, Mitsubishi® |
| Температурный контроллер | Shimaden FP93 (Япония). 4 программы, 40 сегментов (4х10 или 2х20 сегментов) |
| Макс. скорость повышения и понижения температуры, °С/мин | 30 |
| Точность поддержания температуры в рабочей зоне, °С | ±1 |
| Вакуумное уплотнение | Уплотнит. фланцы из нерж. стали с вакуумметром (1 шт.), клапанами (2 шт.) и термостойкими керамическими блоками (4 шт.). |
| Возможность работы со взрывоопасными, включая водород, угарный газ и метан | Нет |
| Защита | От перегрева в случае превышения допустимой температуры и выхода из строя термопары; От сбоя электропитания: устройство автоматически продолжает выполнение программы после восстановления электропитания. |
| Генератор высокочастотной плазмы | |
| Электропитание | АС 208…240 В, 50 Гц, 1 ф. |
| Выходная мощность | 5…500 Вт (регулируемая) |
| Шаг регулировки выходной мощности | ±1% |
| Частота генерируемой плазмы | 13,56 МГц |
| Стабильность поддержания частоты генерируемой плазмы | ±0,005% |
| Максимальная мощность отражения | 200 Вт |
| Выход высокочастотной плазмы | 50 Ом, тип N, гнездовой |
| Способ охлаждения | Воздушное охлаждение |
Комплект поставки
| Наименование | Количество |
| Стандартная комплектация | |
| Трубчатая печь | 1 компл. |
| Многоканальная система подачи газа | 1 компл. |
| Трубка из кварцевого стекла | 1 шт. |
| Трубка из тефлона | 1 шт. |
| Вакуумные уплотнит. фланцы из нерж. стали в комплекте с вакуумметром | 1 компл. |
| Крюк из нерж. стали | 1 шт. |
| Термоблок из алюмооксидной керамики | 2 пары |
| Термостойкие перчатки | 1 пара |
| Высокотемпературный тигель из алюмооксидной керамики | 5 шт. |
| Запасной предохранитель | 2 шт. |
| Порт для подключения к ПК USB/RS485 | 1 компл. |
| Опции | |
| Генератор высокочастотной плазмы | 1 компл. |
| Система вакуумирования с вакуумным насосом | 1 компл. |